Le Micro System Analyser MSA-400 est le premier instrument compact de mesure optique, avec visualisation, analyse vibratoire 3D et mesure de topographie de surface des microstructures comme les MEMS.
Son vibromètre laser à balayage sous microscope, couplé à la vidéo stroboscopie, permet leur caractérisation dynamique en 3D.
L’interféromètre de lumière blanche mesure leur topographie avec une résolution inférieure au nanomètre.
Le MSA-400 a reçu le prix de l’innovation Sensor & Test à Nuremberg en 2005.

POLYTEC-PI

Fabricant

32 rue Delizy
93694 PANTIN
FRANCE

Tel : 01 48 10 39 30
Fax : 01 48 10 08 03
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La plage de température d'utilisation est comprise entre 5 °C et 40 °C, et l'humidité relative doit être de 80 % maximum.
La caméra est un modèle progressive scan caméra, 1.4 Mpixel (1392 x 1040), IEEE 1394 Interface FireWire.
La classe de sécurité du laser : Classe 2 (Sortie visible < 1 mW). Le diamètre du faisceau : ~0.9 µm (avec lentille pour microscope 50X). Le balayage est double piézo scanner, résolution: 512 x 512 points dans le champs de vision.